台灣光阻塗佈機 - 台灣產業戰略地圖

L4 C2611

台灣光阻塗佈機

代碼: L4-1101-002-001 政府分類: 半導體製造業

全自動光阻塗佈機，12吋晶圓。旋塗3000rpm、厚度均勻性±2%、EBR邊緣去除、軟烤90°C、產能120片/h。

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信閎科技有限公司

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專案代號：SkyNet | 版本：3.0 | 最後更新：2026-01-12