台灣晶潔科技WCM-500高精密晶圓清洗機,採用多頻超音波與兆聲波技術,結合化學藥劑循環系統,能有效去除晶圓表面微米級顆粒及有機污染物。專為半導體和MEMS製程前處理設計,確保基板潔淨度,提升感測器良率與效能。
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