台灣光刻先鋒ACD-600S自動化晶圓塗佈顯影機,實現高精度、高重複性的光阻塗佈和顯影製程。配備先進的自動化晶圓傳輸系統,確保在光刻製程中圖案轉移的精確度與均勻性,是感測器微影製程的核心設備。
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