台灣產業戰略地圖

乾式蝕刻機 (RIE/ICP-RIE)

代碼: L4-1204-001-006 政府分類: 量測、導航及控制設備製造業

台灣製程優化DE-800I乾式蝕刻機，採用RIE/ICP-RIE技術，實現高深寬比和精確的蝕刻控制。它能高效且精準地移除薄膜材料，是MEMS感測器深矽蝕刻、金屬線路圖案化以及其他精密結構定義的關鍵設備。

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專案代號：SkyNet | 版本：3.0 | 最後更新：2026-01-12

乾式蝕刻機 (RIE/ICP-RIE)